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一、超大量程超大流量高精度氣體質量流量計MFM 產品概述：
◆管狀分流，不易堵塞
◆適用于各種低壓和高壓管道
◆預熱時間短，零漂小，可靠性高
◆模擬量輸入/輸出可使用二次表或流量計算機控制和顯示流量
二、產品應用：
真空鍍膜 / 太陽能、氫能等新能源 / 半導體 / 石油石化精細化工 / 電力冶金
環保 / 食品包裝 / 生物醫藥 / 新材料 / 工業制作 / 各種分析儀器 / 制氣配氣系統
三、超大量程超大流量高精度氣體質量流量計MFM 產品參數：
| 產品型號 | ACU20FD-HM |
| 量程范圍 | 6000SLM～20000SLM |
| 測控范圍 | 流量計量程比100:1 |
| 準確度 | ±0.5%F.S |
| 線性 | ±0.5%F.S |
| 重復精度 | ±0.2%F.S |
| 響應時間 | 流量計：<0.1s |
| 流量控制器：<0.2s | |
| 數字量 | RS232/485，MODBUS協議 |
| 模擬量 | 0～5V、4-20mA、1～5V |
| 供電 | ±15VDC，24VDC |
| 工作溫度 | 0～50℃ |
| 工作壓力 | 工作壓差：0.3~0.5Mpa |
| 最大耐壓 | 3MPa/10MPa |
| 電氣連接 | DB9孔, RJ11, 5.5×2.1電源快插 |
| 漏率 | 1×10-9Pa m3/S |
| 溫度系數 | ±0.025%F.S/℃ |
| 底座材質 | 不銹鋼 |
| 密封材質 | 氟橡膠，氯丁橡膠，丁腈橡膠 |
| 接頭 | φ12，1"，2“，法蘭安裝 |
如果所需性能要求與上述性能不同，請溝通定制。
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