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自動補(bǔ)氣Torr托爾級壓力控制器EPC/壓力計

簡要描述:自動補(bǔ)氣Torr托爾級壓力控制器EPC/壓力計:
-- 直通式設(shè)計,測量范圍從100Pa 到 20MPA(絕壓和表壓皆可)。
-- 精確度高、重復(fù)性好,分為前壓控制和背壓控制兩種。
-- 標(biāo)配一個壓電膜片式壓力傳感器和數(shù)字電路板,提供高精度、穩(wěn)定、可靠的壓力測量和控制。
該數(shù)字PC板具有測量和控制所需的所有基本功能。
-- 除了配備標(biāo)準(zhǔn)的RS485輸出信號,還提供模擬I/O信號。

  • 產(chǎn)品型號:ACU20PC-LH
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時間:2025-07-07
  • 訪  問  量:2443

詳細(xì)介紹

一、自動補(bǔ)氣Torr托爾級壓力控制器EPC/壓力計 產(chǎn)品特點(diǎn):

-- 測量范圍從10Pa 到 20MPA(絕壓和表壓皆可)。

-- 精確度高、重復(fù)性好,分為前壓控制和背壓控制兩種。

-- 標(biāo)配一個壓電膜片式壓力傳感器和數(shù)字電路板,提供高精度、穩(wěn)定、可靠的壓力測量和控制。

該基本數(shù)字PC具有測量和控制所需的所有基本功能。

-- 除了配備標(biāo)準(zhǔn)的RS485輸出信號,還提供模擬I/O信號。

-- 可裝配一體式控制閥或分體式控制閥。它是一種比例式電磁控制閥,具有超快和平穩(wěn)控制的特性。

我們有不同系列的控制閥對應(yīng)特定的應(yīng)用領(lǐng)域。常規(guī)應(yīng)用使用標(biāo)準(zhǔn)的直接操控閥,高流速應(yīng)用使用先導(dǎo)閥。


二、應(yīng)用領(lǐng)域:

-- 半導(dǎo)體工藝,氣相和液相色譜儀,MOCVD過程中蒸汽壓力控制,擠塑成型過程中氣體壓力保護(hù)控制,高壓釜/反應(yīng)釜壓力控制等。


三、自動補(bǔ)氣Torr托爾級壓力控制器EPC/壓力計 產(chǎn)品參數(shù):如所需參數(shù)與下述列舉不同,請另行溝通咨詢)


技術(shù)參數(shù)

精度(包括線性和滯后性)

≤±0.5%F.S

壓力量程比

壓力計

1:100

壓力控制器

1:50

重復(fù)性

≤0.1%

傳感器響應(yīng)時間

0.2s

控制穩(wěn)定性

≤±0.05%F.S(測定條件:1 L/min N2)

運(yùn)行溫度

-10~+70℃

溫度敏感性

0.1%FS/℃

漏率

1×10-9 SCCS He

方位影響度


(90°變化)


<0.03 KPa(絕壓/表壓傳感器)

<0.6 KPa(差壓傳感器)

預(yù)熱時間

忽略不計


機(jī)械部件

材質(zhì)

不銹鋼

工藝連接

G3/8"

密封材質(zhì)

氟橡膠/丁腈橡膠/氯丁橡膠/其他

防護(hù)等級(外殼)

IP40


電氣特性

電源

15~24Vdc

數(shù)字輸出

RS485/RS232、Modbus、profibus、Devicnet等協(xié)議

電氣連接

DB9

   
































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