氣體流量的定量控制

氣體流量控制器在一些應(yīng)用中需要用到充氣量的累積值，那么如何精準(zhǔn)控制累積充氣量呢？

在我司的MFC功能中，設(shè)置了到累積流量值后自動(dòng)設(shè)定瞬時(shí)流量值為0 的功能。

首先在表體內(nèi)設(shè)定所需要的累積流量（累積氣量），然后設(shè)定進(jìn)氣的實(shí)時(shí)流量（瞬時(shí)流量），MFC會(huì)開(kāi)啟累積功能，當(dāng)累積流量達(dá)到所設(shè)定目標(biāo)值后，就會(huì)自動(dòng)停止供氣。

這種控制方式既可以在表體屏幕上操作也可以通過(guò)電腦等上位機(jī)控制，配備有485Modbus通訊。

此款流量控制器的其它技術(shù)參數(shù)如下：(另有0.5%FS精度可選）

技術(shù)指標(biāo)：

ACU10FD-LC 質(zhì)量流控制器

量程范圍：2SCCM ～ 300SLM

控制器閥控范圍： 50：1

準(zhǔn)確度：±1.0%F.S

線性：±0.5%F.S

重復(fù)精度：：±0.2%F.S

響應(yīng)時(shí)間：<1.5S

數(shù)字量：RS232/485，MODBUS 協(xié)議

模擬量：0 ～ 5V、4-20mA、1 ～ 5V

供電：±15VDC，24VDC

工作溫度：0 ～ 50℃

工作壓差：0.05 ～ 0.5MPa；

最大耐壓：3MPa/10MPa

電氣連接：DB15 孔

漏率：1×10-9SCCSHe

溫度系數(shù)：±0.025%F.S/℃

底座材質(zhì)：不銹鋼

密封材質(zhì)：氟橡膠，氯丁橡膠，丁腈橡膠

接頭：φ3，φ6，1/8"，1/4"，1/2"。。。卡套，VCR..(可按客戶(hù)要求匹配）

如果有其它定制參數(shù)請(qǐng)與頁(yè)面的產(chǎn)品經(jīng)理溝通。